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產(chǎn)品簡介
全自動晶體生長爐 真空制粉造粒設(shè)備主要包含兩種功能,一種用于材料的熔化提純,一種用于材料的定向凝固。
全自動晶體生長爐 真空制粉造粒設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
1、溫度:1650℃
2、線圈升降行程:150毫米,采用伺服電機(jī)驅(qū)動,升降速度可調(diào)節(jié),分為快速和慢速
3、坩堝升降行程:150毫米,采用伺服電機(jī)驅(qū)動,升降速度可調(diào)節(jié),分為快速和慢速
4、石墨坩堝尺寸:φ40*60㎜
5、感應(yīng)電源振蕩功率:15KW,電源電壓380V
6、采用鎢錸熱偶監(jiān)測溫度,通過電流調(diào)節(jié)溫度
7、可抽真空與充保護(hù)氣氛
結(jié)構(gòu)簡介
主要由感應(yīng)加熱裝置,坩堝及保溫裝置、密封石英管裝置、區(qū)熔裝置、定向凝固裝置、真空裝置、保護(hù)氣氛裝置、測溫裝置、支架及操作臺裝置與可視化控制系統(tǒng)組成。
1、感應(yīng)加熱裝置:由一臺振蕩功率15kW,振蕩頻率30-80kHZ的高頻電源提供感應(yīng)加熱
2、坩堝及保溫裝置:由一只石墨坩堝,一種石英陶瓷保溫套、氮化硼保溫底座和保溫蓋組成,保證傳輸?shù)绞⒐艿臏囟鹊陀?00℃;保溫蓋開 有觀察孔,可觀察到熔液狀態(tài)。
3、密封石英管裝置:由一根石英管,兩套密封法蘭組成,采用硅膠密封圈密封,局部帶水冷,密封法蘭上帶各種接口,方便其他裝置接入。
4、區(qū)熔裝置:由伺服電機(jī)、減速機(jī)、線性模組和連接塊組成,帶動線圈沿著石英管上下移動,速度可調(diào)節(jié),實現(xiàn)區(qū)熔目的。
5、定向凝固裝置:從石英管底部密封法蘭處引入,帶動密封結(jié)構(gòu),留有熱偶接口,由步進(jìn)電機(jī)、減速機(jī)、線性模組和連接塊帶動坩堝實現(xiàn)上下 升降目的,實現(xiàn)定向凝固功能。
6、保護(hù)氣氛裝置:石英管底部密封法蘭留有充氣接口,帶閥門和進(jìn)氣接口,石英管頂部密封法蘭留有出氣接口與閥門,并裝有安全閥,防止氣 壓過高損壞元件
7、測溫裝置:從定向凝固移動管中接入,可直接跟石墨坩堝接觸,測量石墨坩堝溫度,并能根據(jù)溫度手動調(diào)節(jié)高頻電源的輸出功率。
8、支架及操作臺裝置:采用型材與板材拼接而成,人性化設(shè)計,操作方便,占地空間小。
9、可視化控制系統(tǒng):采用PLC+觸摸屏控制整套系統(tǒng),實現(xiàn)可視化操作,操作直觀方便。還可實時記錄各種實驗數(shù)據(jù)并下載到PC端,方便用戶 調(diào)整工藝數(shù)據(jù)。